Plasma Clean System VSP-88D


W/B, D/B 공정에서의 접착력 향상
고객 맞춤형 디자인 가능



W/B, D/B 공정에서의 접착력 향상
고객 맞춤형 디자인 가능


Vision Semicon

Visionsemicon was founded in 1997 only to produce and develop semiconductor manufacturing device.
We have been approved by many companies around with high performance devices, such as semiconductor Plasma.


Substrate Width /
Actual SPH
Max 82mm : 4 Rail 420Strip/Hr
Max 62mm : 5 Rail 540Strip/Hr
Available 1~3 Lanes for Wide PCB/Substrate over 82mm Width
Power Source RF Generator, 13.56MHz, 1000W
Vacuum Pump 617L/Min Dry Pump [Option : Oil Rotary Pump]
Gas Flow Controller 1 Mass Flow Controller for Standard [Option : Additional MFC (O2 or Other Gas)]
System Dimension W1700mm * H1480mm * D1050mm (Except Tower Lamp)[Pump Built-in Type]
Internal Chamber Size W290mm * H27.4mm * D442 (Plasma Area)
Weight 800Kg
Utility 220VAC, 3Phase, 25A, Air : 5kgf/㎠, Ar : 3kgf/㎠, N2 : 4kgf/㎠
PC Based Main Control Windows XP & C++ Language & TFT LCD Touch Screen


한결같은 우수한 세정 능력 – 자재에 따라 10도 이하의 물방울 접촉각
4레인 동시 작업 및 짧은 세정 시간에 따른 높은 생산력
심플한 유틸리티 연결 디자인 및 수직 업 다운 챔버
싱글 인라인 시스템
작은 챔버의 진공 플라즈마
PC기반과 터치 스크린을 통한 쉬운 운용
저렴한 장비 가격으로 인건비 절약
렌 네트워킹 및 CIM


There are no reviews yet.

Be the first to review “Plasma Clean System VSP-88D”

Your email address will not be published. Required fields are marked *